EFEM是一個晶圓前端傳輸設備，是一個與SEMI标準兼容的界面(miàn)系統，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面(miàn)積小，采用帶外部軸的雙臂機械手，通過(guò)雙軸複合運動實現取放片，極大的提高了傳片效率的同時(shí)而又降低了産品維護成(chéng)本。内部全新的氣體導流結構，保證内部空間潔淨度能(néng)夠滿足ISO Class 1級别，保證晶圓傳輸過(guò)程的潔淨度。内部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過(guò)程中的安全，人員與設備的安全。
2100*750*2500mm
≤1100kg
class 1
±0.1mm
±0.2°
≥150
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