直驅電機結構具有更高的真空特性，内部結構沒(méi)有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好(hǎo)，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成(chéng)互鎖，傳感器檢測等功能(néng)。輸入信号支硬件中斷功能(néng)，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能(néng)應用。帶有安全區配置功能(néng)和靈敏的碰撞保護功能(néng)，減少用戶誤操作導緻的各種(zhǒng)損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能(néng)。可以根據客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等
φ200mm
≤0.5Kg
±0.05mm
±0.006°
±0.05mm
≤703mm
360°
35mm
＜1×10-7 Torr
＜1×10-9 std.cc/sec He
50kg
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