SR210A-210/2.65 SR12A-12/1.46 SR7A-4/0.59 SR7A-7/0.90 SR25-20/1.76 SR25A-12/2.01
工業清潔機器人 底盤合裝型移動機器人 新能(néng)源電池行業移動機器人 輔助裝配型移動機器人 叉式搬運移動機器人 重載型移動機器人
桁架機器人 核應急機器人 探龍系列蛇形臂機器人 重載垂直多關節機器人 智能(néng)布設/回收機器人 長(cháng)臂展機器人
TSS-3000 EFEM 真空機械手 Archer 系列 真空傳輸平台Diagram 600 真空機械手PHOENIX B系列 真空機械手PHOENIX-S25系列 真空機械手PHOENIX PLUS B系列
GCR系列GCR25-1800 GCR系列GCR16-2000 GCR系列GCR7-910 GCR系列GCR12-1300 GCR系列GCR3-618 GCR系列GCR5-910
座椅标準系列激光焊接系統 三維五軸激光切割機 激光拼焊生産線 縱剪機組自動換刀單元 剪闆機機器人自動上下料單元
自動檢票機（AGM） 自動售票機（TVM） 互聯網售票機（iTVM） 智能(néng)客服中心 自助客服一體機(iBOM) 自動駕駛機器人
智能(néng)助行器 電動站立助行器 下肢可穿戴訓練器 下肢動力外骨骼機器人 上下肢主被(bèi)動訓練系統-座位款 上下肢主被(bèi)動訓練系統-床邊款
汽車焊裝生産線 前、後(hòu)懸總成(chéng)底盤合裝移動機器人解決方案 新能(néng)源車載充電器OBC生産線 新能(néng)源電驅動裝配線
锂電銅箔制造智能(néng)物流 锂電行業移動機器人解決方案 锂電智能(néng)物流系統解決方案 锂電化成(chéng)分容生産測試系統
刮闆輸送機結構件自動化焊接生産線 集裝箱底部托盤柔性化焊接工作站 工業機器人船舶智能(néng)焊接解決方案 廂式物流車廂體智能(néng)生産線
機器人+智慧康養 醫藥領域智能(néng)物流解決方案 智能(néng)康養系統解決方案 丁基膠塞智能(néng)車間
工業機器人液晶電視綜合解決方案 智能(néng)化服務器制造生産線
LNG罐箱智能(néng)産線 輪胎行業智能(néng)物流解決方案 石化領域智能(néng)物流解決方案
工業機器人鋼結構智能(néng)焊接系統 天窗&門環産品激光拼焊線
自動售檢票（AFC系統） 綜合監控（ISCS系統） 環境與設備監控（BAS系統） 智慧出行平台
工業機器人教育實訓系統 協作機器人智能(néng)教室
智能(néng)車間星衛來機器人清潔方案 成(chéng)品面(miàn)箱自動化輸送碼垛系統 家居木門全自動化裝備生産線 複合機器人煙草機械行業解決方案
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一體化程度高，自動化程度高，安全區保護,SEMI認證S2、F47,網絡化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發(fā)的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動框架，帶有隔離的風扇 過(guò)濾系統，可拆分的設備結構，從而保證設備潔淨、可靠的運行。
直驅電機結構，全新的IO模塊，具有先進(jìn)的防碰撞保護功能(néng)及輸入信号支硬件中斷功能(néng)，擁有SEMI認證。滿足個性化設計支持用戶定制，手臂長(cháng)度可選，可爲客戶提供接口及末端定制服務。
作爲半導體制造生産線的必要設備，本平台一般包含在整套半導體制造設備系統之中，是矽片盒（Cassette）到工藝腔（CVD，ALD，PVD等）之間的矽片搬送系統。
具有先進(jìn)的防碰撞保護功能(néng)及動态糾偏功能(néng)機器人具有更卓越的動力性能(néng)，可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性使用要求。
具有先進(jìn)的防碰撞保護功能(néng)及動态糾偏功能(néng)機器人具有更卓越的動力性能(néng)，可滿足半導體行業的高精度、高速度、高穩定性、高溫工況使用要求。
SEMI認證S2、F47 接口可用戶定制
LoadPort是新松公司自主研發(fā)的一種(zhǒng)晶圓裝載裝置，可安裝在EFFM上，适用于8寸和12寸晶圓盒的裝載，具備準确的mapping功能(néng)，可自動識别盒内晶圓各槽狀态，如單片、跨片、異常片，通過(guò)獨創的開(kāi)關門機構和精确的運動控制，實現了高清潔性能(néng)，同時(shí)具有良好(hǎo)的穩定性和速度。
SMIF是一種(zhǒng)晶圓裝載與檢測集成(chéng)裝置，适用于6寸和8寸晶圓盒的自動開(kāi)關盒，效率高，穩定性好(hǎo)，重複定位精度高，潔淨等級爲Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能(néng)，能(néng)自動檢測盒内各槽晶圓狀态，例如單片、跨片；具有開(kāi)盒時(shí)自動識别盒内晶圓尺寸的功能(néng)，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護功能(néng)，可以自動監測盒内異常狀況，有效保護晶圓；具有實時(shí)檢測的機械手互鎖和光栅互鎖功能(néng)，可以有效保護機械手以及人身安全；具有RFID讀取功能(néng)。新松SMIF爲全流程中國(guó)大陸自主設計制造，推動了國(guó)内半導體産業鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)内半導體設備的發(fā)展。
立式爐Mini STK應用于立式爐管設備前端，适用于FOUP的轉運 、暫存和開(kāi)盒。
高潔淨等級，高速傳片，碰撞保護，Mapping，SEMI認證S2，F47，迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。
高潔淨等級，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護，Mapping功能(néng)，SEMI認證，提供接口及末端定制。
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高潔淨等級，高速傳片，碰撞保護， Mapping，SEMI認證S2，F47
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