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TSS-4000 EFEM

EFEM是一個晶圓前端傳輸設備,是一個與SEMI标準兼容的界面(miàn)系統,可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面(miàn)積小,采用帶外部軸的雙臂機械手,通過(guò)雙軸複合運動實現取放片,極大的提高了傳片效率的同時(shí)而又降低了産品維護成(chéng)本。内部全新的氣體導流結構,保證内部空間潔淨度能(néng)夠滿足ISO Class 1級别,保證晶圓傳輸過(guò)程的潔淨度。内部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過(guò)程中的安全,人員與設備的安全。

advantages

産品優勢
  • 符合SEMI标準
    整機參照SEMI進(jìn)行設計,符合半導體行業标準
  • 自主研發(fā)
    大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發(fā),穩定性高
  • 尺寸多樣(yàng)性
    采用行業标準尺寸,内部空間布局合理,結構緊湊性強,可根據用戶需求定制
  • 傳輸效率高
    多款大氣手、aligner等部件可供選配,可配置外部軸,大氣手可實現多種(zhǒng)取放功能(néng),傳輸效率高
  • 标準化程度高
    内部零部件高度标準化模塊化,互換性高
  • 兼容性強
    可根據用戶的實際需求進(jìn)行非标定制

Application areas

産品應用領域

parameter

産品參數
  • 尺寸

    2650*750*2500mm

  • 重量

    ≤1100kg

  • 潔淨等級

    class 1

  • wafer放置位置精度

    ±0.1mm

  • wafer放置角度精度

    ±0.2°

  • WPH

    ≥400

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