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SRBZ970C

SRBZ970C真空潔淨機器手采用網絡化控制系統,具有優良的防碰撞保護功能(néng)及動态糾偏功能(néng),全新的軌迹規劃,提高運動節拍,提高了用戶産能(néng),安全區保護等功能(néng)有效地提高了産品的安全等級。産品通過(guò)SEMI認證S2,F47,MCBF大于1000萬次。産品在磁流體密封技術及手臂使用鋼帶進(jìn)行動力傳輸的技術加持下,具備高潔淨度,高真空度、低漏率,耐高溫、耐腐蝕,負載能(néng)力強等特點。SRBZ970C作爲LED芯片制造領域的真空機械手産品主要用于LED芯片制造過(guò)程中,實現裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送,在使用過(guò)程中因其高精度、高傳輸效率、負載能(néng)力強等特點,大大提高了LED芯片生産制造的良率和效率,是LED芯片制造裝備的關鍵産品。本産品在集成(chéng)電路制造用真空機械手的基礎上,針對(duì)其大負載需求,創新了其傳輸結構和控制規律,使其能(néng)夠達到1.5kg的負載能(néng)力,以高品質、高性價比、靈活的本地化、可定制化服務服務于廣大客戶并在行業取得領先位置。

advantages

産品優勢
  • 鋼帶結構
    高潔淨度、耐高溫、耐腐蝕
  • 磁流體密封技術
    高真空度、低漏率
  • 抛光不鏽鋼手臂、亮面(miàn)不鏽鋼護罩
    表面(miàn)美觀、高潔淨度
  • 精簡傳動
    精簡傳動結構,高效,長(cháng)壽命
  • 軟件控制系統
    效果優良的碰撞保護功能(néng)、動态糾偏功能(néng)
  • 質量可靠
    高品質零部件,精密裝配,嚴格檢驗,确保高精度、高壽命
  • 模塊化
    方便維修維護

Application areas

産品應用領域

parameter

産品參數
  • 有效載荷

    ≤2kg

  • 工作範圍

    ≤970

  • 控制軸數

    2

  • 重複定位精度

    ±0.1

  • 安裝方式

    上法蘭安裝

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