SRBZ970C真空潔淨機器手采用網絡化控制系統，具有優良的防碰撞保護功能(néng)及動态糾偏功能(néng)，全新的軌迹規劃，提高運動節拍，提高了用戶産能(néng)，安全區保護等功能(néng)有效地提高了産品的安全等級。産品通過(guò)SEMI認證S2，F47，MCBF大于1000萬次。産品在磁流體密封技術及手臂使用鋼帶進(jìn)行動力傳輸的技術加持下，具備高潔淨度，高真空度、低漏率，耐高溫、耐腐蝕，負載能(néng)力強等特點。SRBZ970C作爲LED芯片制造領域的真空機械手産品主要用于LED芯片制造過(guò)程中，實現裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送，在使用過(guò)程中因其高精度、高傳輸效率、負載能(néng)力強等特點，大大提高了LED芯片生産制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關鍵産品。本産品在集成(chéng)電路制造用真空機械手的基礎上，針對(duì)其大負載需求，創新了其傳輸結構和控制規律，使其能(néng)夠達到1.5kg的負載能(néng)力，以高品質、高性價比、靈活的本地化、可定制化服務服務于廣大客戶并在行業取得領先位置。
≤2kg
≤970
2
±0.1
上法蘭安裝
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