SMIF是一種(zhǒng)晶圓裝載與檢測集成(chéng)裝置，适用于6寸和8寸晶圓盒的自動開(kāi)關盒，效率高，穩定性好(hǎo)，重複定位精度高，潔淨等級爲Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能(néng)，能(néng)自動檢測盒内各槽晶圓狀态，例如單片、跨片；具有開(kāi)盒時(shí)自動識别盒内晶圓尺寸的功能(néng)，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護功能(néng)，可以自動監測盒内異常狀況，有效保護晶圓；具有實時(shí)檢測的機械手互鎖和光栅互鎖功能(néng)，可以有效保護機械手以及人身安全；具有RFID讀取功能(néng)。新松SMIF爲全流程中國(guó)大陸自主設計制造，推動了國(guó)内半導體産業鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)内半導體設備的發(fā)展。
200mm Carrier
0.8kg (需要進(jìn)行5kg配重提升三次測試)
±0.1mm
RFID讀取、微型光電傳感器、對(duì)射式光電傳感器
耐酸鋁+不鏽鋼
815H*365W*425D（mm）
65kg
帶有片盒載荷傳感器
MTBF：17000h
12.5s
14s
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